@phdthesis{PhdWirth2008,
  abstract = {Die vorliegende Arbeit berichtet über ein neuartiges, kombiniertes
	Messverfahren zur gleichzeitigen Erfassung von Form und Material
	einer glänzenden Probenoberfläche. Die Materialerkennung erfolgt
	über die polarisationsoptische Brechzahlbestimmung im Messpunkt mit
	Mikroellipsometrie. Die Mikroellipsometrie ist ein fokussierendes
	Ellipsometer, das aus der Polarisationsänderung, bedingt durch die
	Wechselwirkung Licht – Materie, die materialcharakteristische komplexe
	Brechzahl eines reflektierenden Materials ermitteln kann. Bei der
	fokussierenden Ellipsometrie ist die Anordnung der fokussierenden
	Optiken von Bedeutung. Die hier vorgestellte ellipsometerexterne
	Fokussierung vermeidet Messfehler durch optische Anisotropien und
	ermöglicht die multispektrale ellipsometrische Messung. Für die ellipsometrische
	Brechzahlbestimmung ist zwingend die Kenntnis des Einfallswinkels
	des Messstrahls und die räumliche Orientierung der Oberflächenneigung
	zum Koordinatensystem des Ellipsometers notwendig. Die Oberflächenneigung
	wird mit einem Deflektometer ermittelt, das speziell für den Einsatz
	in Kombination mit der Ellipsometrie entwickelt wurde. Aus der lokalen
	Oberflächenneigung kann die Topographie einer Probe rekonstruiert
	werden. Der Einfallswinkel ist ebenfalls aus den Oberflächenneigungen
	ableitbar. Die Arbeit stellt die Systemtheorie der beiden kombinierten
	Messverfahren vor, außerdem werden Beiträge zu Messunsicherheiten
	diskutiert. Der experimentelle Teil der Arbeit beinhaltet die separate
	Untersuchung zur Leistungsfähigkeit der beiden zu kombinierenden
	Messverfahren. Die experimentellen Ergebnisse erlauben die Schlussfolgerung,
	dass ein Mikro-Deflexions-Ellipsometer erfolgreich realisierbar ist.},
  author = {Wirth, Frank},
  interhash = {8466d948947a63ea6539d6e5263b464a},
  intrahash = {a52966f44a1902e5bd330e4dd057bda0},
  language = {german},
  month = {Januar},
  mrtnr = {PhD-1},
  owner = {duerrbaum},
  school = {FG Mess- und Regelungstechnik},
  title = {Zur {E}rfassung von form- und materialbedingten {O}berflächenstrukturen
	mit {M}ikro-{D}eflexions-{E}llipsometrie},
  type = {Dissertation},
  url = {https://hds.hebis.de/ubks/Record/HEB195094859},
  year = 2008
}